Investigadores canadienses han construido y medido el cantilever de silicio de mayor frecuencia conocido hasta la fecha.
Construido en una oblea de silicio sobre aislante en la capa de silicio de 147nm de grosor, el cantilever de 400x120nm osciló a 1,04GHz.
El equipo, de la Universidad de Alberta, el Instituto Nacional Canadiense de Nanotecnología y una empresa denominada Norcada, construyó el cantilever como parte de un proyecto para controlar y medir los MEMS en el dominio de tiempo.
Se fabricaron dispositivos de 10MHz a 1GHz, y se midieron utilizando una técnica láser.
Los resultados indican que los cantilevers se pueden poner a oscilar, y también detenerlos casi por completo, mediante impulsos de fuerza rectangular cronometrados con precisión y aplicados electrostáticamente.
«Estos pueden activar y frenar la oscilación del resonador en menos de un ciclo de oscilación, en menos de un nanosegundo», señaló un portavoz del proyecto.
«Este nivel de control sobre los resonadores de los nanocantilevers aumenta las probabilidades de que se puedan utilizar como dispositivos digitales en comunicaciones, memoria y computación».
Fuente: Electronics Weekly
